Optische 3D-Profilometrie

Unsere Instrumente:

Eigenes optisches chromatisches konfokales Rastermikroskop

• 5-Achsen-Scanning, Messung von gekrümmten Oberflächen
• Laterale Auflösung: 1μm
• Senkrechte Genauigkeit: 0,1μm
• Messgeschwindigkeit: max. 20kHz

Filmetrics Profilm 3D-Weißlichtmikroskop

• 2-Achsen-Scanning, Messung von flachen Oberflächen
• Seitliche pontosság: 0.5μm
• Senkrechte Genauigkeit: 0.01μm