3D profilometria
Eszközeink
Saját fejlesztésű optikai kromatikus konfokális pásztázó mikroszkóp
- 5 tengelyes szkennelés, görbült felületek mérése
- Laterális pontosság: 1μm
- Merőleges pontosság: 0.1μm
- Mérés sebessége: max. 20kHz
Filmetrics Profilm 3D fehér fényű mikroszkóp
- 2 tengelyes szkennelés, sík felületek mérése
- Laterális pontosság: 0.5μm
- Merőleges pontosság: 0.01μm